Clean Room & Yellow Room (ナノ構造作製室)

高真空磁性多層膜用スパッタ装置	有機物用蒸着装置	イオンビームスパッタ装置
高真空磁性多層膜用スパッタ装置	超高真空 電子ビーム蒸着装置
SiO2用スパッタ装置	SiO2用蒸着装置	反応性スパッタ装置
マスクアライナー	反応性イオンエッチング装置	プラズマアッシャー
アーク炉	スクライバー

201 実験室 （EBL&SEM Room）

電子線描画装置	電子線描画装置 情エレ所有	低加速電子顕微鏡
低加速電子顕微鏡 情エレ所有	スクライバー

301 実験室 （電磁気測定室）

室温、液体窒素温度領域 磁気伝導特性測定システム
高周波プローバー
アニール装置	超音波ウェッジ式ボンディング装置

303 実験室 (ナノ構造作製兼測定室)

高真空磁性多層膜用スパッタ装置	Cu用蒸着装置	膜厚測定装置
ウエハー表面形状測定装置	ボンディング装置

低温センター　104 実験室（電磁気測定室）

室温、液体He温度領域 磁気伝導特性測定システム		環境制御型走査プローブ顕微鏡